今天本原的小编给大家介绍静电力显微镜及其测量方法，让我们一起了解一下。

　　静电力显微镜（英文名：Electrostatic Force Microscopy,简称EFM）利用测量探针与样品的静电相互作用的一种，来表现样品表面静电势能，电荷分布和它电荷输运的扫描探针显微镜。

　　静电力显微镜的工作原理与原子力显微镜非常相似。由悬臂梁组成的探针都是关键部分。不过它和原子力显微镜测量探针与样品的范德华力不一样，静电力显微镜样品成像是通过测量两者的库仑相互作用来实现。

　　在工作的时候，探针与样品之间被加上工作电压，悬臂梁探针受到静电力的作用，在样品表面震荡，但是它不接触样品表面。

　　本发明提供了一种静电力显微镜及其测量方法,静电显微镜由扫描头,低频电压信号发生器,高频电压信号发生器,低频振动信号检测器,高频振动信号检测器,控制器组成的,所说的扫描头包括探针,探针位置感应器,压电激振器,压电扫描器；这个发明在已有静电力显微镜基础上,利用探针的较高次本身振动模式来测量静电力.由于不一样的振动模式中,探针和样品的相互作用各有不同,它相应的性能也会存在差别,若果在分辨率,灵敏度和稳定性等方面.这个发明能明显提高大气环境下的静电力显微镜的空间分辨率。

　　今天的介绍就到这里了，欢迎下期看点。