工业大尺寸样品

原子力显微镜/扫描探针显微镜

• 具有完整自主知识产权的工业大尺寸样品扫描探针显微镜，探针扫描，满足超大、超重样品的检测需求
• 系统功能集成了原子力显微镜、横向力显微镜、磁力显微镜、静电力显微镜、压电响应力显微镜、扫描开尔文探针显微镜和纳米加工等功能
• 具有接触模式、轻敲模式、相移成像模式、横向力（摩擦力）模式、抬起模式等多种工作模式和力-距离（F-Z）曲线、振幅-距离（RMS-Z）曲线、相移-距离（Phase-Z）曲线、摩擦力回路曲线、摩擦力载荷曲线、摩擦力恒载荷等测量分析功能
• 检测头轻量化设计，结构刚性和固有频率高，有效提升了扫描探针组件的稳定性
• 探头对称结构设计，针尖固定于支承横梁中点，能有效抑制环境温度波动导致热漂移
• 采用电容传感器的闭环压电扫描台，扫描的非线性和正交自动校正
• 标准的12吋（300mm）样品真空吸盘，吸盘具有软件控制的多道真空吸轨，无需手动操作开关阀门，自适应2吋、3吋、4吋、6吋、8吋、10吋和12吋的不同规格的晶圆吸附固定
• 高分辨辅助光学显微定位，实时观测与定位探针以及样品扫描区域
• 一次扫描技术，图像分辨高达4096×4096物理象素，微米级扫描即可得到纳米级的实际信息
• 控制系统采用TI的DSP+RAM双核信号处理器，内置二代的实时操作系统spm/DNA,全数字控制
• 先进PID反馈算法实现快速高精度作用力控制，确保系统在高速扫描中稳定成像，实际扫描速度提升一个数量级，多重针尖保护技术，有效延长探针使用寿命
• 系统采用10M/100M快速以太网（Fast Ethernet 10/100）或USB3.0与计算机连接
• 主控机箱前面板具有16×4液晶显示屏，实时显示系统当前状态
• 具备实时在线三维图像显示功能，便于用户在检测过程中随时直观获得样品信息
• 具有简体、繁体和英文三种语言版本的在线控制软件和后处理分析软件，基于Windows 10系统开发，兼容Windows 11/8/7/Vista/XP全系列操作系统
• 具备双向扫描(Trace-Retrace)、往返扫描、线扫描等多种扫描模式，并具备自动更新扫描图像亮度、对比度功能

技术参数

• 系统功能：原子力显微镜、横向力显微镜、磁力显微镜、静电力显微镜、压电响应力显微镜、扫描开尔文探针显微镜和纳米加工等功能
• 工作模式：接触模式、轻敲模式、相移模式、抬起模式（支持磁力和静电力模式）、纳米加工（图形化刻蚀、压痕/机械刻画，矢量扫描）
• 样品尺寸：直径12吋（300mm）/ 厚度30mm / 质量15kg
• 样品固定方式：300mm真空吸附样品台，自动适应各种尺寸晶圆的全软件控制的多道真空吸轨，无需手动操作开关阀门
• 进针模式：一键式全自动探针逼近，逼近精度：50nm/step
• 检测定位方式：软件控制的行程300mm /精度5um二维工作台，12吋无盲区精确自动定位
• 扫描范围：闭环100um×100um，传感器：电容传感器，闭环分辨率：优于0.5nm，线性度：优于0.02%