系列扫描探针显微镜
CSPM5500/5500A/5500LS
“国家重大科学仪器设备开发专项”成果转化产品
- 国际主流的研究级专业仪器，集成原子力显微镜(AFM)，横向力显微镜(LFM)，扫描隧道显微镜(STM)
- 分辨率： 原子力显微镜：横向0.2nm，垂直0.03nm（以云母晶体标定）
- 扫描隧道显微镜：横向0.1nm，垂直0.01nm（以石墨晶体标定）
- 高精度计量型仪器，采用NanoSensors提供的可溯源于国际计量权威机构PTB的标准样品进行校准
- 一键式快速全程全自动进样，无需手动预调，行程大于30mm，可容纳超大样品，最大样品尺寸为：45mm×45mm×30mm
- 两级可读数样品调节机构，可对样品进行精确的检测区域定位
- 一次扫描技术，图像分辨高达4096×4096物理象素，微米级扫描即可得到纳米级的实际信息
- 先进PID反馈算法实现快速高精度作用力控制，确保系统在高速扫描中稳定成像，实际扫描速度提升一个数量级
- 系统采用10M/100M快速以太网(Fast Ethernet 10/100)或USB 3.0与计算机连接，支持固件远程升级
- 主控机箱前面板具有16×4液晶显示屏，系统当前状态实时显示
- 具备实时在线三维图像显示功能，便于用户在检测过程中随时直观获得样品信息
- 集成了多功能，多模式的新型原子力显微镜。
标准模块：
- 原子力显微镜(AFM)：包括接触、轻敲、相移成像(Phase Imaging)等多种工作模式
- 横向力显微镜(LFM)：具有摩擦力回路曲线、摩擦力载荷曲线、摩擦力恒载荷曲线等摩擦学性能分析测量功能
- 扫描隧道显微镜(STM)：包括恒流模式、恒高模式、I-V曲线、I-Z曲线等
- 曲线测量分析功能：力-距离曲线、振幅-距离曲线、相移-距离曲线等
选配功能：
- 纳米加工：包括图形刻蚀模式、压痕/机械刻画、矢量扫描模式、DPN浸润笔模式等
- 磁力显微镜/静电力显微镜
- 环境控制扫描探针显微镜
- 液相扫描探针显微镜
- 导电原子力显微镜
- 扫描探针声学显微镜
- 扫描开尔文探针显微镜
- 力调制模式成像技术
- 压电响应力显微镜
- 扫描电容显微镜
- 样品温度控制系统（控温范围：-20～150℃）
- 样品加热系统（控温范围：室温～250℃）