轻敲模式在扫描的过程中，微悬臂也是振荡的，并且产生比非接触模式更大的振幅 （大于20nm），能够达到10-100nm，针尖在振荡的时候，是间断地和样品接触的。因为探针针尖与样品接触，分辨率几乎与接触式扫描一样的高，但因为是短暂的接触，所以剪切力引起的对样品的破坏几乎完全消失，克服了常规扫描模式的局限性。轻敲模式在大气中成像，主要利用的是压电晶体在微悬臂共振频率附近驱动微悬臂振荡。当样品不在与探针针尖接触的时候，微悬臂是高振幅自由振荡的，当探针针尖往下移向表面直到与其轻轻的接触，因为微悬臂没有充足的空间振荡，所以振幅会减小。使用检测器去检测这个振幅，通过调整探针针尖与样品两者间的距离来控制微悬臂的振幅，使得探针针尖作用在表面上的力可以保持恒定，最终获得样品的表面形貌。
      轻敲模式有效避免了探针针尖粘附到样品上以及在扫描过程中对样品的破坏，对于一些软，粘，脆性的样品的研究有着非常独特的优势。但轻敲模式在实际的使用中同样也有着不易控制的缺点，像一些表面形貌起伏较大的样品，是很难控制振幅的恒定的。除此之外，基于微悬臂的静电力显微镜在实际应用中，既要求微悬臂与针尖的制作有较高的质量，还要求其具有较好的可重复性是非常困难的，不仅需要一个结构复杂的微小悬臂作为力的传感器，而且还要有一个激光干涉测微仪用来检测微悬臂的微小位移来得到表面的变化信息，因而结构较为复杂，成本也很高，操作难度增大，也就造成了在实际使用中的局限性。