纳米压痕又称为深度敏感压痕技术，它是近几年发展起来的一种新技术，其能够在不用分离薄膜和基底材料的情况下直接得到薄膜材料的许多力学性质，比如弹性模量，硬度等。材料硬度的测试原理源于1881年Hertz的压痕测定法，但是这种测定法受到所加负载大小与压痕边沿质量之间矛盾的限制，对于薄膜材料的测定非常的不精确。1992年Oliver与Pharr提出了用纳米量级压痕的负荷6-6位移关系测试和分析材料的机械力学性质，特别是薄膜材料的显微硬度的新方法。采用这种新方法，微小压痕的深度只要达到几个纳米，就可以从压痕的各项数据中推算出材料的显微硬度。此外，用这种方法，还可以根据压痕过程的加载以及卸载曲线，研究材料的弹性模量。
    因为AFM原子力显微镜具有原子级的高分辨率，并且能够连续调整放大倍率，检测过程不会对样品的表面造成损伤，无需高真空的检测条件，且设备体积小，成本低，性价比高。综合来讲，跟其他的常规显微手段相比优势十分明显。
    AFM原子力显微镜是扫描探针显微镜SPM的一种，具有许多优异的性能。不仅在原子级的形貌检测中起着关键性作用，而且根据AFM在测量中对力的极端敏感这一特性，还能够测量表面纳米尺度范围内的力学性质，比如磨损量，纳米润滑层的厚度，摩擦力以及摩擦系数等。这些都将成为AFM原子力显微镜应用的一种扩展，将极大地推动纳米摩擦学的研究。
   综上所述，相信大家对AFM原子力显微镜在纳米压痕研究中的应用也有了一定的了解，如果还有关于AFM原子力显微镜的其他疑问，请拨打本原纳米仪器的官方热线。